ประวัติของอุณหพลศาสตร์ในฐานะระเบียบวินัยทางวิทยาศาสตร์โดยทั่วไปเริ่มต้นที่Otto von Guerickeซึ่งในปี 1650 ได้สร้างและออกแบบปั๊มสุญญากาศเครื่อง แรกของโลก และแสดงสุญญากาศโดยใช้ ซีก โลก ของ Magdeburg Guericke ถูกผลักดันให้สร้างสุญญากาศเพื่อหักล้าง  อุณหพลศาสตร์ ข้อสันนิษฐานที่ยึดถือมานานของ อริสโตเติลที่ว่า "ธรรมชาติเกลียดชังสุญญากาศ" ไม่นานหลังจาก Guericke นักฟิสิกส์และนักเคมีชาวแองโกล-ไอริชRobert Boyleได้เรียนรู้เกี่ยวกับการออกแบบของ Guericke และในปี 1656 ร่วมกับRobert Hooke นักวิทยาศาสตร์ชาวอังกฤษ ได้สร้างปั๊มลมขึ้น  การใช้ปั๊มนี้ Boyle และ Hooke สังเกตเห็นความสัมพันธ์ระหว่างความดันอุณหภูมิและปริมาตร ในเวลาต่อมา กฎของบอยล์ได้ถูกกำหนดขึ้น ซึ่งระบุว่าความดันและปริมาตรแปรผกผันกัน จากนั้นในปี ค.ศ. 1679 ตามแนวคิดเหล่านี้Denis Papin ผู้ร่วมงานของ Boyle ได้ สร้างเครื่องย่อยไอน้ำซึ่งเป็นภาชนะปิดที่มีฝาปิดแน่นซึ่งกักไอน้ำไว้จนเกิดแรงดันสูงการออกแบบในภายหลังใช้วาล์วปล่อยไอน้ำที่ป้องกันไม่ให้เครื่องระเบิด ปาแปงนึกถึงแนวคิดของลูกสูบและเครื่องยนต์สูบ ด้วยการเฝ้าดูวาล์วขยับขึ้นลงเป็นจังหวะ อย่างไรก็ตามเขาไม่ได้ทำตามการออกแบบของเขา อย่างไรก็ตาม ในปี ค.ศ. 1697 ตามการออกแบบของ Papin วิศวกรThomas Saveryได้สร้างเครื่องยนต์เครื่องแรก ตามด้วยThomas Newcomenในปี 1712 แม้ว่าเครื่องยนต์ในยุคแรก ๆ เหล่านี้จะหยาบและไม่มีประสิทธิภาพ แต่ก็ดึงดูดความสนใจของนักวิทยาศาสตร์ชั้นนำในยุคนั้น